ìí, »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¶Ç ¼öÃâ Çã°¡¡¦Çù»ó ¸íºÐ ½×³ª
rlagusdn114
19-08-20 07:57
Á¶È¸ 63
[¼¿ï½Å¹®]ÇÑÀÏ È¸´ã¡¤±º»çÇùÁ¤ ½ÃÇÑ ¾ÕµÎ°í ÁÖ¸ñ
¼ºÀ±¸ð ¡°¼ÒÀ硤ºÎÇ° ¿¹Å¸ ¸éÁ¦ °ð ¸¶¹«¸®¡±
5.8Á¶ ÅõÀÔ °³¹ß»ç¾÷ ÀÌ´Þ ³» È®Ãæ °èȹÇÑÀÏ ¿Ü±³Àå°ü ȸ´ãÀ» ÀÌƲ ¾ÕµÐ 19ÀÏ ÀϺ»ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ Áß ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâ ½Åû 1°Ç(6°³¿ùºÐ)À» Ãß°¡·Î Çã°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ´ÜÇà 35ÀÏ ¸¸ÀÌ´ø Áö³ 7ÀÏ Ã¹ ¹ø° Çã°¡¿¡ ÀÌÀº µÎ ¹ø° ¼öÃâ Çã°¡´Ù. Çã°¡ Ç°¸ñÀº µÎ Â÷·Ê ¸ðµÎ µ¿ÀÏÇß´Ù. EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î È°¿ëµÈ´Ù.
ÀϺ»ÀÌ ÀÌ´Þ µé¾î µÎ Â÷·Ê »ï¼ºÀüÀÚ·ÎÀÇ ¼ÒÀç ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó ÇÑÀÏ °£ ¹«¿ª°¥µî ±¹¸é¿¡ ´ëÈ¿Í Çù»ó ½Ç¸¶¸®°¡ »ý±ä °ÍÀÎÁö ÁÖ¸ñµÈ´Ù. ÇÑÀÏ ¿Ü±³Àå°ü ȸ´ã¿¡ ÀÌ¾î ¿À´Â 24ÀÏ ÇÑÀÏ ±º»çÁ¤º¸º¸È£ÇùÁ¤(GSOMIA) ¿¬Àå ½ÃÇÑÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ¾î ÇÑÀÏ °£ ÇùÀÇ ÇÊ¿ä°¡ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. ¾Õ¼ Áö³ 15ÀÏ ±¤º¹Àý ¿¬¼³¿¡¼ ¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·ÉÀÌ ¡°ÀϺ»Àº ´ëÈ¿Í Çù·ÂÀÇ ±æ·Î ³ª¿Í¾ß ÇÑ´Ù¡±°í Ã˱¸Çϱ⵵ Çß´Ù.
ÀϺ»»ê ¼ÒÀç ¼öÃâ Çã°¡·Î ÀÎÇØ ¿ì¸® ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ¼ûÅëÀÌ Æ®¿´Áö¸¸ ´çÁ¤Àº ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±â¼ú È®º¸ÀÇ °í»ß¸¦ ÁË°í ÀÖ´Ù. À̳¯ ¼ºÀ±¸ð »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Àå°üÀº ´õºÒ¾î¹ÎÁÖ´ç ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ¡¤Àη¹ßÀüƯº°À§¿øȸ ȸÀÇ¿¡ Âü¼®ÇØ ¡°°·ÂÇÏ°í Áö¼ÓÀûÀÎ Á¤Ã¥ ½ÇÇàÀ» À§ÇØ ¹üÁ¤ºÎ Â÷¿øÀÇ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤ÀåºñÀ§¿øȸ ¼³¸³À» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Ưº°¹ý °³Á¤µµ ³íÀÇ Áß¡±À̶ó¸é¼ ¡°¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ü·Ã ´ë±Ô¸ð ¿¬±¸°³¹ß(R&D) »ç¾÷ÀÇ Á¶¼ÓÇÑ ÃßÁøÀ» À§ÇØ ¿¹ºñŸ´ç¼ºÁ¶»ç(¿¹Å¸) ¸éÁ¦ ÀýÂ÷¸¦ °ð ¸¶¹«¸®ÇÒ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ »ê¾÷ºÎ´Â 5Á¶¿ø ±Ô¸ðÀÇ ¼ÒÀç»ê¾÷ Çõ½Å±â¼ú °³¹ß»ç¾÷°ú 8000¾ï¿øÀÌ ÅõÀԵǴ Á¦Á¶Àåºñ ½Ã½ºÅÛ °³¹ß»ç¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¿¹Å¸ ¸éÁ¦ ¹æ¾ÈÀ» °ËÅäÇØ ¿Ô´Ù.
Á¤ºÎ´Â ¼ÒÀ硤ºÎÇ° ºÐ¾ß R&D¿¡ ÇâÈÄ 7³â°£ 7Á¶ 8000¾ï¿ø ÀÌ»óÀ» ÅõÀÔÇÑ´Ù´Â Å« ƲÀ» Á¦½ÃÇÑ ÀÌÈÄ ¼¼ºÎ ³»¿ëÀ» Á¤¸®ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¼º Àå°üÀº ƯÈ÷ Àη ¾ç¼º°ú °ü·ÃÇØ ¡°´ëÇÐ ¿¬±¸¼ÒÀÇ ³ëÈÄ Àåºñ ¾÷±×·¹À̵带 Áö¿øÇÏ°í, Áö¿ª °ÅÁ¡ ´ëÇп¡ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Çõ½Å ¿¬±¸¼Ò(LAB)¸¦ ¼³Ä¡ÇØ ±â¼ú·ÂÀ» °®Ãá ÀηÂÀÌ Áö¿ª ±â¾÷¿¡ °ø±ÞµÇµµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
¼ºÀ±¸ð ¡°¼ÒÀ硤ºÎÇ° ¿¹Å¸ ¸éÁ¦ °ð ¸¶¹«¸®¡±
5.8Á¶ ÅõÀÔ °³¹ß»ç¾÷ ÀÌ´Þ ³» È®Ãæ °èȹÇÑÀÏ ¿Ü±³Àå°ü ȸ´ãÀ» ÀÌƲ ¾ÕµÐ 19ÀÏ ÀϺ»ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ Áß ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâ ½Åû 1°Ç(6°³¿ùºÐ)À» Ãß°¡·Î Çã°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ´ÜÇà 35ÀÏ ¸¸ÀÌ´ø Áö³ 7ÀÏ Ã¹ ¹ø° Çã°¡¿¡ ÀÌÀº µÎ ¹ø° ¼öÃâ Çã°¡´Ù. Çã°¡ Ç°¸ñÀº µÎ Â÷·Ê ¸ðµÎ µ¿ÀÏÇß´Ù. EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÁÖ·Î È°¿ëµÈ´Ù.
ÀϺ»ÀÌ ÀÌ´Þ µé¾î µÎ Â÷·Ê »ï¼ºÀüÀÚ·ÎÀÇ ¼ÒÀç ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇÔ¿¡ µû¶ó ÇÑÀÏ °£ ¹«¿ª°¥µî ±¹¸é¿¡ ´ëÈ¿Í Çù»ó ½Ç¸¶¸®°¡ »ý±ä °ÍÀÎÁö ÁÖ¸ñµÈ´Ù. ÇÑÀÏ ¿Ü±³Àå°ü ȸ´ã¿¡ ÀÌ¾î ¿À´Â 24ÀÏ ÇÑÀÏ ±º»çÁ¤º¸º¸È£ÇùÁ¤(GSOMIA) ¿¬Àå ½ÃÇÑÀ» ¾ÕµÎ°í ÀÖ¾î ÇÑÀÏ °£ ÇùÀÇ ÇÊ¿ä°¡ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. ¾Õ¼ Áö³ 15ÀÏ ±¤º¹Àý ¿¬¼³¿¡¼ ¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·ÉÀÌ ¡°ÀϺ»Àº ´ëÈ¿Í Çù·ÂÀÇ ±æ·Î ³ª¿Í¾ß ÇÑ´Ù¡±°í Ã˱¸Çϱ⵵ Çß´Ù.
ÀϺ»»ê ¼ÒÀç ¼öÃâ Çã°¡·Î ÀÎÇØ ¿ì¸® ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ¼ûÅëÀÌ Æ®¿´Áö¸¸ ´çÁ¤Àº ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ ±â¼ú È®º¸ÀÇ °í»ß¸¦ ÁË°í ÀÖ´Ù. À̳¯ ¼ºÀ±¸ð »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Àå°üÀº ´õºÒ¾î¹ÎÁÖ´ç ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ¡¤Àη¹ßÀüƯº°À§¿øȸ ȸÀÇ¿¡ Âü¼®ÇØ ¡°°·ÂÇÏ°í Áö¼ÓÀûÀÎ Á¤Ã¥ ½ÇÇàÀ» À§ÇØ ¹üÁ¤ºÎ Â÷¿øÀÇ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤ÀåºñÀ§¿øȸ ¼³¸³À» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Ưº°¹ý °³Á¤µµ ³íÀÇ Áß¡±À̶ó¸é¼ ¡°¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ °ü·Ã ´ë±Ô¸ð ¿¬±¸°³¹ß(R&D) »ç¾÷ÀÇ Á¶¼ÓÇÑ ÃßÁøÀ» À§ÇØ ¿¹ºñŸ´ç¼ºÁ¶»ç(¿¹Å¸) ¸éÁ¦ ÀýÂ÷¸¦ °ð ¸¶¹«¸®ÇÒ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù. ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ »ê¾÷ºÎ´Â 5Á¶¿ø ±Ô¸ðÀÇ ¼ÒÀç»ê¾÷ Çõ½Å±â¼ú °³¹ß»ç¾÷°ú 8000¾ï¿øÀÌ ÅõÀԵǴ Á¦Á¶Àåºñ ½Ã½ºÅÛ °³¹ß»ç¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¿¹Å¸ ¸éÁ¦ ¹æ¾ÈÀ» °ËÅäÇØ ¿Ô´Ù.
Á¤ºÎ´Â ¼ÒÀ硤ºÎÇ° ºÐ¾ß R&D¿¡ ÇâÈÄ 7³â°£ 7Á¶ 8000¾ï¿ø ÀÌ»óÀ» ÅõÀÔÇÑ´Ù´Â Å« ƲÀ» Á¦½ÃÇÑ ÀÌÈÄ ¼¼ºÎ ³»¿ëÀ» Á¤¸®ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¼º Àå°üÀº ƯÈ÷ Àη ¾ç¼º°ú °ü·ÃÇØ ¡°´ëÇÐ ¿¬±¸¼ÒÀÇ ³ëÈÄ Àåºñ ¾÷±×·¹À̵带 Áö¿øÇÏ°í, Áö¿ª °ÅÁ¡ ´ëÇп¡ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Çõ½Å ¿¬±¸¼Ò(LAB)¸¦ ¼³Ä¡ÇØ ±â¼ú·ÂÀ» °®Ãá ÀηÂÀÌ Áö¿ª ±â¾÷¿¡ °ø±ÞµÇµµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù.
ÁÁ¾Æ¿ä
0
´ñ±Û
0
¢¹ ¿Â¶óÀÎ ¿¹ÀýÀ» ÁöÄÑ ÁÖ¼¼¿ä.