"1000¾ï Àåºñ ¾î¼³ª"..Ú¸¡¤À¯·´ ¼Ë´Ù¿î¿¡ ¹ÝµµÃ¼µµ '»¡°£ºÒ'
Äڷγª19(COVID-19) °¨¿°ÁõÀÌ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¾÷ü Àü·«±âÁöÀÎ ¹Ì±¹°ú À¯·´À» ÈÛ¾µ¸é¼ ÇöÁö¾÷ü¿¡¼ »ý»êÀåºñ¸¦ °ø±Þ¹Þ´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº°¡ ±äÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ Æ¯¼º»ó Àåºñ Á¶´Þ¿¡ Çѹø Â÷ÁúÀÌ ºú¾îÁö¸é ÇâÈÄ 1~2³â µ¿¾ÈÀÇ ÅõÀÚ¿Í »ý»ê Àü·«À» ¼öÁ¤ÇØ¾ß ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿ì·Á°¡ ÀûÀÝ´Ù.
³×´ú¶õµå ASMLµµ Áö³ 12ÀϺÎÅÍ ÀÓÁ÷¿ø 1¸¸¿©¸íÀ» ´ë»óÀ¸·Î ¼øÂ÷ ÀçÅñٹ« üÁ¦¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù. ¹Ì±¹ ¾îÇöóÀÌµå ¸ÓƼ¸®¾óÁî(AMAT)´Â Ķ¸®Æ÷´Ï¾Æ º»»ç Àοø¿¡ ÇÑÇØ ÀçÅôë±â¿¡ µé¾î°£ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁø´Ù.
ÀÌµé ¾÷ü´Â ¼¼°è 3´ë ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Á¦Á¶¾÷ü´Ù. 3°³ ¾÷üÀÇ Àü¼¼°è ½ÃÀåÁ¡À¯À²ÀÌ 50%¸¦ ³Ñ´Â´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºµµ ÀÌµé ¾÷ü¿¡¼ ÁÖ¿ä Àåºñ¸¦ °ø±Þ¹Þ´Â´Ù.
ASMLÀÇ °æ¿ì »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É °æÀï·ÂÀ¸·Î ²ÅÈ÷´Â 7³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬, 1³ª³ë´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ EUV ³ë±¤Àåºñ(½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â Àåºñ)¸¦ ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇÑ´Ù. Áö³´Þ º»°Ý°¡µ¿ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ È¼º»ç¾÷ÀåÀÇ V1¶óÀο¡ ASMLÀÇ EUV ³ë±¤Àåºñ°¡ ´ë°Å µé¾î°¬´Ù.
·¥¸®¼Ä¡´Â ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ¿¡ ±×·ÁÁø ȸ·Îµµ¸¦ ±ð¾Æ³»´Â ½Ä°¢Àåºñ ºÐ¾ß¿¡¼ ¼¼°è 1À§ ¾÷ü´Ù. Áö³ÇØ °æ±âµµ ¿ëÀÎ½Ã¿Í 5000¸¸´Þ·¯(¾à 620¾ï¿ø)¸¦ µé¿© ¿¬±¸°³¹ß¼¾Å͸¦ Áþ´Â ³»¿ëÀÇ ¾÷¹«Çù¾àÀ» ü°áÇÏ´Â µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¾÷°è¿Í Æø³Ð°Ô Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½ÉÀåºñÀÇ °æ¿ì ´ë´ç °¡°ÝÀÌ 1000¾ï¿øÀ» Èǽ ³Ñ´Â µ¥´Ù Á¦Á¶¶óÀθ¶´Ù ¼³ºñȯ°æ°ú °øÁ¤ Ư¼º¿¡ ¸ÂÃç Á¦ÀÛ, ¼³Ä¡ÇØ¾ß Çϱ⠶§¹®¿¡ ¼³°è ´Ü°èºÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»ç¿Í Àåºñ¾÷ü°¡ Çù·ÂÇØ ¼ö°³¿ù µ¿¾È ÀÛ¾÷À» ÁøÇàÇÑ´Ù. Àåºñ Á¦ÀÛ¿¡¼ºÎÅÍ ¼³Ä¡±îÁö ±æ°Ô´Â 1³âÀÌ °É¸°´Ù.
Àåºñ Á¶´ÞÀÌ Æ²¾îÁú °æ¿ì ¿©ÆÄ°¡ 1~2³â µÚÀÇ ÁßÀå±â ÅõÀÚ°èȹÀ̳ª »ý»êÀü·« Â÷Áú·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â °üÃøÀÌ ³ª¿À´Â ÀÌÀ¯´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚÀÇ °æ¿ì ¿ÃÇØ ¿Ï°ø ¸ñÇ¥ÀÎ ÆòÅà Á¦2 »ý»ê¶óÀÎ °¡µ¿ºÎÅÍ ¹®Á¦¿¡ ºÎµúÈú ¼ö ÀÖ´Ù. Áß±¹ ½Ã¾È X2¿Í ±¹³» ȼº V1¶óÀÎÀÇ ¼³ºñÁõ¼³ ÀÛ¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¿ì·Áµµ °í°³¸¦ µç´Ù.
SKÇÏÀ̴нºµµ °æ±â ÀÌõ M16 »ý»ê¶óÀÎ °ø»ç¿Í ÃæºÏ ûÁÖ M15, Áß±¹ ¿ì½Ã C2F »ý»ê¶óÀÎ Àåºñ ÀÔ°í ÀÛ¾÷ÀÌ ÁøÇàµÇ´Â »óȲ¿¡¼ »çÅ ÃßÀ̸¦ ¿¹ÀÇÁÖ½ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù.
½ÃÀå °ü°èÀÚ´Â "Áö±Ý °°Àº »çÅ°¡ Àå±âÈÇÏ¸é ¿¬°£ ÅõÀÚ °èȹÀ» Àü¸é Àç¼öÁ¤ÇØ¾ß ÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù"¸ç "Äڷγª »çŸ¦ ª°Ô º¸¸é ½ÃÀå ¼ö¿ä°¡ ÁÙ¾îµé ¼ö ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ °ÆÁ¤ÀÌÁö¸¸ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î º¸¸é °ø±Þ Ãø¸é¿¡¼µµ ¹®Á¦°¡ ºú¾îÁú °¡´É¼ºÀ» ¹èÁ¦ÇÒ ¼ö ¾ø´Â »óȲ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼Àåºñ¾÷°è ÇÑ Àλç´Â "Àåºñ½ÃÀåÀº ÀÚº»°ú ±â¼ú·Â, ¿À·£ ³ëÇÏ¿ì°¡ ÇʼöÀûÀÎ »ê¾÷ Ư¼º»ó ¼Ò¼ö¾÷ü°¡ °æÀïÇÏ´Â °úÁ¡ ÇüÅÂ"¶ó¸ç "ÀÌ·± ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ¾÷°è¿Í Á¦Á¶¾÷ü°¡ »óÈ£ÀÇÁ¸ÇÏ´Â »ç½½ ±¸Á¶À̱⠶§¹®¿¡ ¾î´À ÇÑÂÊ¿¡ ¹®Á¦°¡ »ý±â¸é ÀüÈĹæ»ê¾÷ Àü¹ÝÀ¸·Î ¿µÇâÀÌ È®´ëµÉ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¾÷°è ÀÏ°¢¿¡¼´Â ÀåºñÁ¶´Þ Â÷Áú·Î °ø±Þ ¹®Á¦°¡ Çö½ÇÈÇÑ´Ù¸é ¹ÝµµÃ¼ °¡°ÝÀÌ ¿À¸£¸é¼ Á¦Á¶»çÀÇ Å¸°ÝÀÌ »ó¼âµÉ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °üÃøµµ ³ª¿Â´Ù. ½ÃÀå¼ö¿ä °¨¼Ò ¿ì·Á·Î Ç϶ô¼¼¸¦ º¸¿´´ø ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ Çö¹°°¡°ÝÀÌ Áö³´Þ ¸» »ó½Â¼¼·Î µ¹¾Æ¼± µ¥µµ ÀÌ·± ¿ì·Á°¡ ¾î´À Á¤µµ ¹Ý¿µµÆ´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü D·¥ÀͽºÃ¼ÀÎÁö¿¡ µû¸£¸é ¿Ã 1ºÐ±â ¼¹ö D·¥ °¡°ÝÀº Áö³ÇØ 4ºÐ±âº¸´Ù 5¡10% »ó½ÂÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.
¢¹ ¿Â¶óÀÎ ¿¹ÀýÀ» ÁöÄÑ ÁÖ¼¼¿ä.